小型真空泵指的就是微型真空泵，因为体积小通常把微型真空泵叫做小型真空泵。微型真空泵（即小型真空泵)是指：具备一进一出的抽气嘴、排气嘴各一个，并且在进口处能够持续形成真空或负压；排气嘴处形成微正压；工作介质主要为气体，体积小巧的一种仪器。
由于旋片式真空泵的抽气过程是一紧缩进程，故当有水蒸气之类的可凝性气体时，假如在排出泵腔前到达其饱和蒸汽压力，则会凝结在真空油中，使泵内的真空油乳化蜕变，光滑密封功能变坏，凝结物在吸气腔中还会重新变成气态，使真空度降低。据引见，当含水超越50%时，还会毁坏光滑功能，形成频繁换油和糜费。所以在抽的气含有水时我们应选择水环直空泵或在抽气前先过滤水份。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
旋片式真空泵漏油，可以发生在轴封，油箱与泵零部件的密封面，放油塞、油标、油孔闷头，定子部件与支座的通孔衔接处，气镇阀等部位。可由密封件老化，装置不当，运行时间久损坏，外表不平整，有杂质，粗糙和铸件疏松等引起。假如停泵后返油，油会进入气镇阀，不关气镇阀可能会漏油。发生这些现象时可遂一检查这些部位，如有损坏的更换即可。4、统一的耐腐蚀设计，青铜叶轮提高了泵的耐腐蚀性，不锈钢材质则更适用于更为苛刻的应用环境。
由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对泵有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；在这样的情况下，循环水真空泵经销商更加应该严于自律，保证产品质量和品质。有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。
